主要特征：
* 桥架固定，工作台移动的固定桥式结构，为整机提供了更稳定可靠的精度基础，并确保高速运行时，振动对精度的影响最小
* 柔性同步带系统，兼顾了柔性啮合与刚性轴向传动的优点，确保高加速度时定位精度，从而提高运动的平稳性
* 陶瓷Z轴、全花岗岩结构，为计量室环境下的测量提供了稳定的高精度* Z向采用了可调式气动平衡设计，提高了机器的动态性能，提升Z轴安全性
* 标配温度传感器，自动补偿由于温度变化而引起的误差
* Y向采用整体式燕尾导轨，提高了机器的精度和重复性
* 中心驱动系统减少偏摆和扭转，Y向光栅安装于工作台的中央，阿贝误差小
* 机器框架采用花岗岩材料构成，厚重且稳定，显著提高了整机的刚性，并有效地减少了振动的影响
* 采用HEXAGON高分辨率金质光栅，其热膨胀系数获得PTB认证
规格型号与技术指标:
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型号
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Rumba686
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Rumba8106
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Rumba10128
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行程（mm）
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X轴
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600
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800
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1000
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Y轴
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800
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1000
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1200
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Z轴
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600
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600
|
800
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空间尺寸（mm）
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Dx
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1036
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1236
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1436
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平台（mm）
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Ph
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350
|
350
|
350
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Py
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1800
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2000
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2200
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支撑（mm）
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Sx
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740
|
870
|
1000
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Sy1
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480
|
530
|
580
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Sy2
|
640
|
720
|
790
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外形尺寸（mm）
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Lx
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1766
|
1976
|
2176
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Ly
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2005
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2205
|
2405
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Lz
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3086
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3086
|
3086
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承重（kg）
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400
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400
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600
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机器重量（kg）
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4276
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4980
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5637
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MPEe（μm）
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1.4+L/450
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1.5+L/350
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1.7+L/350
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MPEp（μm）
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1.8
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1.8
|
1.8
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光栅尺分辨率（μm）
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0.039
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空间移动速度（mm/s）
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520
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空间移动加速度(mm/s2)
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1039
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流量/供气压力
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0.1m³min,>0.7MPa
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注：工作环境为温度（20±1）℃, 湿度为25%-75%
